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低温泵是利用低温表面和低温吸附剂将气体冷凝和吸附来达到抽气

的目的。由于低温泵所用的工作介质与真空系统是隔开的，不锈钢表面镀膜机价钱，因此它的抽

气能力和所能达到的极限真空度，都和被抽气体在该温度下的饱和蒸气

压有关。例如，在圆园 运的温度下，除 匀藻、晕藻、匀圆 外，其他气体的分压

力都可以降到员园 原愿 耀 员园 原怨 孕葬 以下，高明不锈钢表面镀膜机，因此低温泵甚至可以获得员园 原员员 孕葬

的较高真空。低温泵的启动压力较高，一般为苑郾 缘 耀 苑缘 孕葬。它的残余气

体成分主要是晕圆、晕藻、粤则，还有少量的水蒸气及悦韵等。

靶基距对基片上在靶宽度方向（载 方向）上的膜厚均匀性有很大影

响。图员猿鄄缘 给出了图员猿鄄源 所示的矩形靶结构在不同靶基距情况下，不锈钢表面镀膜机厂家，沿

载方向（即靶的宽度方向）膜厚的相对分布。从图中可以看出，当靶基距

较小，如 澡 越圆缘 皂皂 时，薄膜厚的位置大约在跑道上方，均匀性很差。

随着靶基距的增加，不锈钢表面镀膜机报价，由于积分的效应，基片上不同点的膜厚差值变小，

均匀性逐渐变好。