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端部刻蚀效应的发生机理比较复杂，磁控溅射镀膜机工厂，由公式 增凿 越 耘 伊 月

月圆 越 耘

月可知，电

子在正交电场和磁场下的漂移速度增凿 与电场强度成正比，与磁场强度

成反比。假定电场沿整个靶表面分布是一致的。电离主要产生于阴极鞘

层区和预鞘层区。耘 伊 月漂移速度正比于电场，而电场 耘 与阴极鞘层厚

度相关，鞘层厚度越大耘越小，反之亦然。磁场对电场是有影响的，磁控溅射镀膜机价格，磁

场强度水平分量越大，鞘层厚度越小，电场越强，磁控溅射镀膜机公司，反之亦然。

对于射频员猿郾 缘远 酝匀扎 来说，可以选用铜（无氧铜）或镀银铜带。射频

的电源的载入也可采用一定宽度的铜带（无氧铜）或镀银铜带导入。

全金属编织网衬垫是一种弹性衬垫，是理想的真空室和真空室门的

屏蔽材料。编织网常用的金属材料为蒙乃尔合金、铍锡钢心钢丝等，具

有很好的屏蔽效能。槽式安装的编织网可以实现固定衬垫和限制过量压

缩。并且，屏蔽体的两部分不仅通过衬垫实现完全接触，还有金属之间

的直接接触，福州磁控溅射镀膜机，因此具有非常高的屏蔽效能。直槽加工简单，但是衬垫容

易掉出。对于真空室门来说，可以采用燕尾槽结构。